एल्यूमीनियम नाइट्राइड हीटर

अर्धविराम एल्यूमीनियम नाइट्राइड हीटर उच्च तापीय चालकता, विद्युत इन्सुलेशन और असाधारण स्थायित्व की मांग करने वाले अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किए गए अत्याधुनिक सिरेमिक हीटिंग तत्व हैं। एल्यूमीनियम नाइट्राइड सिरेमिक से इंजीनियर, ये हीटर तेजी से और समान हीटिंग प्रदान करते हैं, जो उन्हें सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग, मेडिकल डायग्नोस्टिक्स और उन्नत विश्लेषणात्मक इंस्ट्रूमेंटेशन जैसे उच्च-सटीक वातावरण के लिए आदर्श बनाते हैं।

एल्यूमीनियम नाइट्राइड हीटर अर्धचालक पतली फिल्म जमाव उपकरण में प्रमुख घटक हैं। वे सीधे प्रक्रिया कक्ष में और वेफर के साथ सीधे संपर्क में लागू होते हैं। वे न केवल वेफर को ले जाते हैं, बल्कि यह भी सुनिश्चित करते हैं कि वेफर ए प्राप्त करता है 

स्थिर और समान प्रक्रिया तापमान। यह सुविधा वेफर सतह और समान पतली फिल्मों की पीढ़ी पर उच्च-सटीक प्रतिक्रियाओं के लिए आवश्यक है।

आमतौर पर, एल्यूमीनियम नाइट्राइड हीटर में एक सिरेमिक सब्सट्रेट शामिल होता है जिसमें एक वेफर लोडिंग सतह और एक बेलनाकार समर्थन शरीर होता है जो इसे पीठ पर समर्थन करता है। हीटिंग के लिए एक प्रतिरोधक हीटिंग सर्किट के अलावा, एक आरएफ इलेक्ट्रोड और एक इलेक्ट्रोस्टैटिक चक इलेक्ट्रोड और अन्य कंडक्टर भी सिरेमिक सब्सट्रेट की सतह के अंदर या अंदर प्रदान किए जाते हैं।

पतली फिल्म जमाव उपकरण आमतौर पर के आधार पर सिरेमिक सामग्री का उपयोग करते हैंएल्यूमीनियम नाइट्राइड (एएलएन)क्योंकि इसमें एक उच्च तापमान वातावरण शामिल है। एल्यूमीनियम नाइट्राइड हीटर अर्धचालक विनिर्माण में पसंदीदा हैं, इसका कारण मुख्य रूप से उनके अद्वितीय भौतिक और रासायनिक गुणों के कारण है। एल्यूमीनियम नाइट्राइड में न केवल उच्च तापीय चालकता होती है और कुछ ही समय में तेजी से हीटिंग और कूलिंग प्राप्त कर सकती है, बल्कि इसमें अच्छी विद्युत इन्सुलेशन और यांत्रिक शक्ति भी होती है, जिससे हीटर की स्थिरता और विश्वसनीयता सुनिश्चित होती है। इसके अलावा, एल्यूमीनियम नाइट्राइड का थर्मल विस्तार गुणांक सिलिकॉन के समान है, जो वेफर पर थर्मल तनाव के प्रभाव को कम करने और प्रक्रिया की उपज में सुधार करने में मदद करता है।

आम तौर पर बोलना,सिरेमिक हीटरमुख्य रूप से पतली फिल्म जमाव उपकरणों में उपयोग किया जाता है। चूंकि इसमें उच्च तापमान प्रक्रियाएं शामिल हैं, इसलिए उपयोग की जाने वाली सिरेमिक सामग्री मुख्य रूप से एल्यूमीनियम नाइट्राइड है; इलेक्ट्रोस्टैटिक चक का उपयोग मुख्य रूप से नक़्क़ाशी उपकरणों में किया जाता है, और उपयोग की जाने वाली सिरेमिक सामग्री मुख्य रूप से एल्यूमीनियम ऑक्साइड है। अर्धचालक प्रौद्योगिकी के विकास के साथ, सिरेमिक हीटर और इलेक्ट्रोस्टैटिक चक के बीच एक ओवरलैप है। उदाहरण के लिए, पतली फिल्म जमाव उपकरणों में उपयोग किए जाने वाले सिरेमिक हीटर इलेक्ट्रोस्टैटिक चक से सुसज्जित हैं, जिनमें उच्च तापमान वाले हीटिंग और इलेक्ट्रोस्टैटिक सोखना के दोहरे कार्य हैं। नक़्क़ाशी उपकरणों में उपयोग किए जाने वाले इलेक्ट्रोस्टैटिक चक भी उच्च तापमान प्रक्रियाओं को शामिल करना शुरू करते हैं, और सिरेमिक सामग्री को एल्यूमीनियम ऑक्साइड से एल्यूमीनियम नाइट्राइड में बदलना चाहिए।