एलुमिना वेफर पॉलिशिंग प्लेटें

सेमीकोरेक्स एल्युमिना वेफर पॉलिशिंग प्लेटेंआइसोस्टैटिक दबाव, उच्च तापमान सिंटरिंग और सटीक मशीनिंग द्वारा उच्च शुद्धता एल्यूमिना से बने सटीक मशीनीकृत हिस्से हैं। वे अल्ट्रा-उच्च सतह परिशुद्धता और दक्षता के लिए कठोर आवश्यकताओं के साथ सटीक पॉलिशिंग अनुप्रयोगों के लिए आदर्श हैं, विशेष रूप से सेमीकंडक्टर वेफर पॉलिशिंग के लिए, क्योंकि एल्यूमिना सिरेमिक असाधारण भौतिक और रासायनिक गुण प्रदान करता है।

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उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध के लिए लंबा जीवनकाल

उच्च परिशुद्धता मशीनिंग में उपयोग की जाने वाली वेफर पॉलिशिंग प्लेटों के लिए उच्च पहनने का प्रतिरोध आवश्यक है। एल्यूमिना सिरेमिक की मोह्स कठोरता लगभग 9 है, जो हीरे और सिलिकॉन कार्बाइड के बाद दूसरे स्थान पर है, जो वेफर पॉलिशिंग प्लेटों को कम पहनने के नुकसान के साथ सेमीकंडक्टर वेफर पॉलिशिंग के दौरान उच्च गति, उच्च-शुल्क घर्षण परिचालन स्थितियों का सामना करने की अनुमति देती है। इस उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध के साथ, एल्यूमिना वेफर पॉलिशिंग प्लेटें टिकाऊ सेवा जीवन प्रदर्शित करती हैं, प्रतिस्थापन के लिए उपकरण शटडाउन की आवृत्ति को काफी कम करती हैं और रखरखाव और प्रतिस्थापन खर्चों में कटौती करती हैं।

असाधारण थर्मल स्थिरता और उच्च तापमान प्रतिरोध

एल्यूमिनावेफर पॉलिशिंग प्लेटें अपनी असाधारण थर्मल स्थिरता और उच्च तापमान प्रतिरोध के कारण 1000℃ उच्च तापमान वाले वातावरण के दौरान अपने भौतिक गुणों और घर्षण प्रदर्शन को बनाए रख सकती हैं। वे लगातार घर्षण के कारण होने वाली उच्च तापमान वाली कामकाजी परिस्थितियों के लिए उपयुक्त हैं, प्रभावी रूप से थर्मल विरूपण से बचते हैं और सतह को लगातार चमकाने में योगदान देते हैं।

विश्वसनीय रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध

एल्यूमिना वेफर पॉलिशिंग प्लेट्स में विश्वसनीय रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध होता है। वे अधिकांश एसिड और क्षार, साथ ही सीएमपी प्रक्रिया में उपयोग किए जाने वाले सामान्य रासायनिक पॉलिशिंग समाधानों का सामना कर सकते हैं। रासायनिक संक्षारण से उनकी सतह की समतलता से समझौता नहीं किया जाएगा, जिससे सेमीकंडक्टर वेफर्स की सतह की गुणवत्ता प्रभावित होगी।

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सेमीकोरेक्स एल्युमिना वेफर पॉलिशिंग प्लेटों के लिए आवेदन

1. सेमीकंडक्टर वेफर पॉलिशिंग

एल्यूमिना वेफर पॉलिशिंग प्लेट्स का व्यापक रूप से सिलिकॉन, SiC, नीलमणि और विभिन्न वेफर सब्सट्रेट्स की पीसने, रफ पॉलिशिंग और फिनिश पॉलिशिंग में उपयोग किया जाता है। उनकी अल्ट्रा-लो खुरदरापन और नैनोस्केल सतह समतलता के लिए धन्यवाद, एल्यूमिना वेफर पॉलिशिंग प्लेटें आदर्श रूप से नक़्क़ाशी और लिथोग्राफी जैसी उन्नत अर्धचालक प्रक्रियाओं की सटीक सतह गुणवत्ता आवश्यकताओं को पूरा कर सकती हैं।

2. वेफर थिनिंग और एज पॉलिशिंग

वेफर थिनिंग प्रक्रिया के दौरान, एल्यूमिना वेफर पॉलिशिंग प्लेटों का उपयोग वेफर की मोटाई को सटीक रूप से नियंत्रित करने और बैकसाइड सामग्री को समान रूप से हटाने के लिए किया जा सकता है। एज पॉलिशिंग प्रक्रिया में, एल्यूमिना पॉलिशिंग प्लेटें वेफर किनारों पर गड़गड़ाहट और दोषों को खत्म करके इष्टतम वेफर एज गुणवत्ता प्राप्त करने में भी मदद कर सकती हैं।