एल्यूमिना रोबोट आर्म

अर्धरेक्स एल्यूमिना रोबोट आर्म एक उच्च-प्रदर्शन सिरेमिक भाग है जो सेमीकंडक्टर उत्पादन में वेफर हैंडलिंग और ट्रांसफर कार्यों के लिए डिज़ाइन किया गया है। उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना सिरेमिक (Al₂o,) से निर्मित, यह रोबोटिक आर्म क्लीनरूम में लचीलापन, सटीकता, निर्भरता और स्थायित्व प्रदान करता है।

एल्यूमिना रोबोट आर्म के पक्ष में क्या हैएल्यूमिना सिरेमिकयांत्रिक शक्ति और कठोरता। जैसाअल्युमिनाअधिक शुद्ध बनाया जाता है, एल्यूमिना एक बेहतर संरचनात्मक अखंडता को बनाए रखता है और इसे यांत्रिक पहनने और विरूपण के लिए अधिक प्रतिरोधी बनाता है। एक सामग्री के रूप में, एल्यूमिना रोबोटिक भागों के लिए एक बढ़िया विकल्प है जो नाजुक और दोहराए जाने वाले वेफर-हैंडलिंग कार्यों में उपयोग किया जाता है, यानी जब एक रोबोट आर्म को एक ही कार्य करने और वेफर्स के साथ संपर्क करने की आवश्यकता होती है, तो रोबोट आर्म द्वारा वेफर पर लागू मामूली विकृति एक सुविधा उपज घाटे को खर्च कर सकती है। उच्च कठोरता, यानी कठोर सतह, अपघर्षक प्रतिरोध और कार्यात्मक जीवन के साथ मदद कर सकती है, अर्थात् एक रोबोटिक घटक पर सेवा/ प्रतिस्थापन के जीवन और अवधि का विस्तार करना।

इसके यांत्रिक स्थायित्व से परे, एल्यूमिना रोबोट आर्म भी एक उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेटर है। प्रतिरोधकता 10⁵ the · सेमी तक है और इन्सुलेशन की ताकत कमरे के तापमान पर 15 केवी/मिमी तक है, संचालित करने के लिए एक अधिक सुरक्षित वातावरण प्रदान करता है, खासकर जब प्रसंस्करण उपकरणों में विद्युत संकेतों में हस्तक्षेप करना चाहिए। यह महत्वपूर्ण हो जाता है जब इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज (ईएसडी) क्षति के न्यूनतम जोखिम के साथ प्रक्रियाओं के बीच संवेदनशील अर्धचालक घटकों की रक्षा करते हुए।

एल्यूमिना सिरेमिक बहुत उच्च तापमान में स्थिरता बनाए रखने में उत्कृष्ट है। पिघलने का बिंदु लगभग 2050 डिग्री सेल्सियस है और इसे युद्ध या आयामी सटीकता के बिना अर्धचालक थर्मल प्रसंस्करण में उच्च तापमान का सामना करेगा। उच्च गर्मी प्रतिरोध हाथ को रैपिड थर्मल एनीलिंग (आरटीए) या रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) जैसी प्रक्रियाओं में उपयोग करने की अनुमति देता है, जहां सटीक संरेखण और थर्मल स्थिरता महत्वपूर्ण हैं।

एल्यूमिना रोबोट आर्म के अन्य महत्वपूर्ण लाभों में से एक इसकी जड़ता है। इसकी सतह अधिकांश सफाई एजेंटों के लिए निष्क्रिय है और अर्धचालक विनिर्माण में उपयोग की जाने वाली गैसों को संसाधित करती है। इसलिए, यह संदूषण-मुक्त रहेगा और सतह के संदूषण में योगदान नहीं करेगा। यह रासायनिक जड़ता अल्ट्रा-क्लीन उत्पादन की स्थिति को प्राप्त करने और लगातार डिवाइस प्रदर्शन प्रदान करने के लिए महत्वपूर्ण है।

एल्यूमिना सिरेमिकअर्धचालक टूलींग के लिए एक किफायती विकल्प भी है। यह एक कच्चे माल के रूप में आसानी से उपलब्ध है और एल्यूमिना सिरेमिक की मशीनिंग प्रक्रियाओं को अच्छी तरह से समझा जाता है और आसानी से स्केलेबल होता है। यह उच्च गुणवत्ता वाले भागों के लिए एक प्रतिस्पर्धी मूल्य पर उत्पादित होने के लिए प्रजनन योग्य और सुसंगत सहिष्णुता की अनुमति देता है। प्रदर्शन और सामर्थ्य का मिश्रण एल्यूमिना रोबोट आर्म को ओईएम और सेमीकंडक्टर फैब्स के लिए आदर्श बनाता है जहां आपको विश्वसनीय स्वचालन घटकों की आवश्यकता होती है जो बैंक को नहीं तोड़ते हैं।

सारांश में, एल्यूमिना रोबोट आर्म उच्च यांत्रिक प्रदर्शन, उच्च ढांकता हुआ प्रदर्शन, उच्च थर्मल प्रतिरोध, उच्च रासायनिक प्रदर्शन, सभी एक किफायती मूल्य पर सिद्ध विनिर्माणता के साथ प्रदान करता है। सामूहिक रूप से, ये प्रदर्शन विशेषताएं अर्धचालक विनिर्माण में सटीक वेफर हैंडलिंग अनुप्रयोगों के लिए विश्वसनीय और कुशल बनाती हैं, बेहतर उपज को सक्षम करती हैं, संभवतः संदूषण जोखिम को कम करती हैं और समग्र उपकरण प्रभावशीलता में सुधार करती हैं।