अर्धविराम एल्यूमिना माउंटिंग बेस प्लेट्स उच्च प्रदर्शन वाले सिरेमिक घटक हैं जो अर्धचालक विनिर्माण में सटीक वेफर हैंडलिंग के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। इसकी बेहतर शक्ति, इन्सुलेशन और थर्मल स्थिरता इसे क्लीनरूम ऑटोमेशन वातावरण की मांग के लिए आदर्श बनाती है।*
अर्धविराम एल्यूमिना बढ़ते बेस प्लेटें उच्च-शुद्धता वाले सिरेमिक उत्पाद हैं जो अर्धचालक निर्माण उपकरणों में बढ़ते काम चक के लिए टिकाऊ और स्थिर ठिकानों के रूप में डिज़ाइन किए गए हैं। ये प्लेटें वेफर प्रोसेसिंग ऑपरेशन जैसे कि लिथोग्राफी, नक़्क़ाशी, बयान और निरीक्षण के लिए महत्वपूर्ण यांत्रिक समर्थन और संरेखण प्रदान करती हैं। यह सुनिश्चित करने के लिए अन्य सिस्टम घटकों के साथ काम चक को सटीक रूप से संरेखित करना आवश्यक है कि वेफर प्रसंस्करण आवश्यक निष्ठा के साथ हो सकता है। प्लेटों को प्रसंस्करण तकनीकों के माध्यम से निर्मित किया जाता है, जो कि आवश्यक सपाटता, उच्च तापमान स्थायित्व, और दीर्घकालिक विश्वसनीयता को प्राप्त करने के लिए सिरेमिक के लिए विशिष्ट है, जो कि प्रक्रिया और क्लीनरूम वातावरण दोनों में आधुनिक अर्धचालक निर्माण की कठोर आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए है।
अर्धविराम एल्यूमिना बढ़ते बेस प्लेट उच्च शुद्धता से बने होते हैंअल्युमिनाशुद्धता स्तर (99.5% (विशिष्ट) होने के नाते। एक उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना में अच्छे यांत्रिक और थर्मल गुणों के साथ-साथ कठोरता भी होती है। उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना में उत्कृष्ट अंतर्निहित विद्युत इन्सुलेट गुण होते हैं जो इन प्लेटों को वैक्यूम और उच्च वोल्टेज अनुप्रयोगों में उपयोग करने की अनुमति देते हैं जहां विद्युत हस्तक्षेप एक मुद्दा हो सकता है। एल्यूमिना थर्मल साइक्लिंग के लिए प्रतिरोधी होगा, जो प्लेटों को अधिकांश सामग्रियों की तुलना में बेहतर आयामी सटीकता बनाए रखने की अनुमति देता है और कम थर्मल विस्तार के कारण संरेखण या संरचनात्मक स्थिरता बनाए रखने के लिए फायदेमंद होता है। यह कारक चक दोहराव और निहित प्रक्रिया सहिष्णुता को सुनिश्चित करने में महत्वपूर्ण है, जबकि विस्तारित उत्पादन चक्रों पर काम कर रहा है।
अर्धचालक प्रसंस्करण प्रणालियों में, एक बढ़ते बेस प्लेट केवल यांत्रिक बन्धन के लिए एक उपकरण नहीं है। यह चक और बाकी उपकरणों के बीच थर्मल संपर्क का माध्यम है और थर्मल अपव्यय, संरचनात्मक अखंडता और कंपन अलगाव के लिए महत्वपूर्ण है। सीवीडी, पीवीडी, या आयन आरोपण जैसे (लेकिन सीमित नहीं) जैसे प्रसंस्करण क्रियाएं, जहां उच्च तापमान और वैक्यूम दबाव आम हैं, थर्मल रूप से प्रतिरोधी, रासायनिक रूप से निष्क्रिय और प्रतिरोधी, यंत्रवत् ध्वनि, और थर्मल शॉक के लिए प्रतिरोधी होने के लिए एक बढ़ते आधार की आवश्यकता होती है। रासायनिक जड़ता महत्वपूर्ण है क्योंकि एक माउंट प्रतिक्रियाशील गैसों के साथ संगत होना चाहिए, साथ ही साथ केमिस्ट्री को साफ करना, माउंट के उपयोगी जीवन का विस्तार करना और संदूषण को रोकना।
अर्धविराम द्वारा बनाई गई प्रत्येक एल्यूमिना माउंटिंग बेस प्लेट को अर्धचालक ओईएम, और उपकरण इंटीग्रेटर्स द्वारा मांगे गए सहिष्णुता के लिए तैयार किया जाता है। प्लेटों को अधिकतम स्थिरता और दोहराव सुनिश्चित करने के लिए मोटाई, ऊंचाई भिन्नता और सपाटता के लिए तंग सहिष्णुता के लिए तैयार किया जाता है। इन बढ़ते प्लेटों को बढ़ते छेद, स्लॉट्स, या काउंटर्सिंक के साथ ग्राहक विनिर्देशों के लिए बनाया जा सकता है ताकि बेहतर काम चक, यांत्रिक चरणों या अन्य उपकरणों को समायोजित किया जा सके। एल्यूमिना सिरेमिक को समय के साथ उपयोग के लिए लगातार थर्मल संपर्क और संरेखण सुनिश्चित करने के लिए एक समान माइक्रोस्ट्रक्चर और सतह की गुणवत्ता को अनुकूलित करने के लिए आधुनिक सिंटरिंग और सटीक पीस तकनीकों का उपयोग करके संसाधित किया जाता है।
अर्धविराम एल्यूमिना बढ़ते बेस प्लेटों का उपयोग विभिन्न प्रकार के अनुप्रयोगों में किया जाता है, जिसमें वेफर हैंडलर, रोबोट ट्रांसफर सिस्टम, वैक्यूम चक असेंबली और मेट्रोलॉजी चरण शामिल हैं। यह विश्वसनीयता और स्थायित्व विभिन्न प्रकार की मांग प्रक्रिया स्थितियों में, उन्हें मजबूत, लंबे समय तक चलने वाले, कम रखरखाव सिरेमिक घटकों की तलाश में उपकरण निर्माताओं के साथ पसंद का उत्पाद बनाता है। ग्राहकों के साथ हमारे इंजीनियरिंग समूह के भागीदार अद्वितीय समाधान प्रदान करते हैं जो प्रत्येक प्लेट के लिए एक अर्धचालक में उत्पादन के लिए दक्षता को अधिकतम करने के लिए निर्दिष्ट हैं।
एल्यूमिना माउंटिंग बेस प्लेट्स सिर्फ एक यांत्रिक समर्थन से अधिक हैं; यह सेमीकंडक्टर उद्योग में सटीक इंजीनियरिंग में एक प्रमुख घटक है। उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता, पवित्रता और विन्यासता के साथ, वे प्रक्रिया उपकरणों की एक विस्तृत श्रृंखला में सटीक संरेखण, लंबे जीवन और भरोसेमंद संचालन सुनिश्चित करते हैं। उच्च प्रदर्शन बढ़ते बेस प्लेटों के लिए, आज के अर्धचालक निर्माताओं की उच्च अपेक्षाओं को पूरा करते हुए, ट्रस्ट अर्धविराम।