अर्धरेक्स एल्यूमिना सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर एक सटीक-इंजीनियर घटक है जो विशेष रूप से अर्धचालक विनिर्माण और संबंधित अनुप्रयोगों में विश्वसनीय और संदूषण-मुक्त वेफर हैंडलिंग के लिए डिज़ाइन किया गया है।****
अर्धविराम एल्यूमिना सिरेमिक अंत प्रभावकार स्वचालित वेफर ट्रांसफर सिस्टम में एक आवश्यक उपकरण है, जो बेजोड़ यांत्रिक शक्ति, थर्मल स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध की पेशकश करता है। उच्च शुद्धता का उपयोग करके निर्मितएल्यूमिना (al₂o₃) सिरेमिक, इस अंत प्रभावकार को वेफर प्रसंस्करण वातावरण की कठोर मांगों को पूरा करने के लिए इंजीनियर किया जाता है, जहां सटीक, स्वच्छता और स्थायित्व सर्वोपरि है।
सेमीकंडक्टर रोबोट हथियार अर्धचालक उपकरणों के महत्वपूर्ण भागों में से एक हैं। वे आमतौर पर नियंत्रकों, ड्राइवरों, हथियारों और अंत प्रभावकारों से बने होते हैं। वे उच्च स्वच्छता, उच्च स्थिरता, उच्च परिशुद्धता, उच्च दक्षता और उच्च विश्वसनीयता की विशेषता है। सेमीकंडक्टर रोबोट मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर विनिर्माण के फ्रंट-एंड प्रक्रिया में उपयोग, परिवहन और स्थिति सेमीकंडक्टर वेफर्स के लिए उपयोग किए जाते हैं।
एल्यूमिना सामग्री वाली सिरेमिक संरचना आमतौर पर 99.5% से अधिक है, जो समय के साथ गिरावट के बिना उच्च-सटीक वातावरण में बार-बार गतियों के लिए बेहतर कठोरता और पहनने के प्रतिरोध प्रदान करेगी। एल्यूमिना के उच्च तापीय चालकता और कम थर्मल विस्तार ऊंचे तापमान के साथ वातावरण में आयामी स्थिरता के लिए अनुमति देते हैं, अर्धचालकों में अधिकांश क्लीनरूम संचालन में एक आवश्यकता, जैसे कि एक एचर, डिपॉजिटर, निरीक्षण, या सफाई उपकरण में।
Theएल्यूमिना सिरेमिकएंड इफ़ेक्टर में एक उल्लेखनीय विशेषता सतह खत्म होती है जो चिकनी होती है और इसमें कम पोरसिटी होती है, जिससे यह शून्य कणों के पास उत्पन्न होता है और वेफर हैंडलिंग के दौरान दूषित पदार्थों पर कम से कम या शून्य प्रभाव होता है। इसके अतिरिक्त, एल्यूमिना रासायनिक रूप से निष्क्रिय है। इसका मतलब यह है कि यह किसी भी प्रक्रिया गैसों और किसी भी प्रक्रिया तरल पदार्थ के साथ प्रतिक्रिया नहीं करेगा जो वेफर के संपर्क में है। यह वेफर और किसी भी संदूषण को स्वयं और उपकरणों से बचाता है जो किसी भी चीज़ से जंग का कारण बन सकता है।
वे आम तौर पर अंत प्रभावकारियों के रूप में उपयोग किए जाते हैं, या एक क्लैम्पिंग तंत्र, वेफर फैब्रिकेशन उपकरणों और उपकरणों में रोबोट आर्म्स या ट्रांसफर मॉड्यूल के लिए, जैसे कि एक एचर या डिपोस्टियन टूल, निरीक्षण या सफाई टूल सटीक स्लॉट, ग्रूव्स, या वैक्यूम चैनल के साथ वास्तविक वेफर आकार को कैप्चर करते हैं, चाहे वह 100 मिमी, 200 मिमी, या 300 मिमी और ट्रांसफरिंग के लिए ट्रांसफर करें। अंतिम प्रभाव आमतौर पर 25 सेमी/सेकंड पर वेफर ट्रांसफर गति को संभालेंगे।
अनुकूलन विकल्प विशिष्ट उपकरण इंटरफेस या वेफर आकार के लिए डिज़ाइन की गई लाइनों के साथ मौजूद हैं। एल्यूमिना की संरचनात्मक कठोरता पतली और हल्के प्रोफाइल के लिए अनुमति देती है जो हैंडलिंग सिस्टम के समग्र द्रव्यमान को कम करती है और तेजी से प्रतिक्रिया समय तक ले जाती है। कुछ कॉन्फ़िगरेशन संवेदनशील इलेक्ट्रॉनिक सब्सट्रेट को अतिरिक्त सुरक्षा प्रदान करने के लिए एंटी-स्टैटिक या इन्सुलेटिंग घटकों को भी जोड़ सकते हैं।
कुल मिलाकर, एल्यूमिना सिरेमिक एंड इफ़ेक्टर एक प्रभावी समाधान प्रदान करता है जो बेहतर उपज और कम संदूषण को बढ़ावा देता है, जहां परिचालन विश्वसनीयता वेफर प्रसंस्करण लाइन के लिए प्रमुख तत्व है। अपनी स्थायित्व और भौतिक प्रदर्शन विशेषताओं के साथ, प्रभावी और लागत प्रभावी एल्यूमिना सिरेमिक अंत प्रभावकार खुद को सेमीकंडक्टर उपकरण निर्माताओं और फैब्स के बीच एक लोकप्रिय विकल्प के रूप में अलग करता है जो एक अल्ट्रा-क्लीन वातावरण में कड़े उत्पादन मानकों की आवश्यकता होती है।