15" क्वार्टज़ बेल जार

सेमीकोरेक्स 15" क्वार्ट्ज बेल जार को इन चुनौतियों का सामना करने के लिए इंजीनियर किया गया है, जो मध्य-से-बड़े पैमाने के बैच प्रसंस्करण के लिए एक उच्च-प्रदर्शन समाधान प्रदान करता है, जहां उपज को अधिकतम करने के लिए थर्मल एकरूपता और सामग्री की शुद्धता आवश्यक है। सेमीकंडक्टर और पतली-फिल्म उद्योगों में, प्रक्रिया कक्ष की अखंडता सर्वोपरि है। जैसे-जैसे वेफर आकार बढ़ते हैं और नोड्स सिकुड़ते हैं, स्वच्छ, स्थिर और रासायनिक रूप से निष्क्रिय वातावरण की आवश्यकता गैर-परक्राम्य हो जाती है।

1. सामग्री विज्ञान: फ्यूज्ड सिलिका की शुद्धता

हमारे बेल जार की नींव उच्च शुद्धता वाली हैफ़्यूज्ड सिलिका (क्वार्टज़). मानक ग्लास के विपरीत, क्वार्ट्ज लगभग पूरी तरह से SiO2 से बना है, जो अद्वितीय गुण प्रदान करता है जो अर्धचालक निर्माण के लिए महत्वपूर्ण हैं:

अल्ट्रा-लो संदूषण: हमारे क्वार्ट्ज को धात्विक ट्रेस तत्वों (जैसे अल, फ़े, ना, और के) को भाग-प्रति-बिलियन (पीपीबी) स्तर तक कम करने के लिए संसाधित किया जाता है। यह उच्च तापमान चक्रों के दौरान वेफर में अशुद्धियों के प्रसार को रोकता है, जिससे उपकरणों की विद्युत अखंडता सुनिश्चित होती है।

सुपीरियर थर्मल शॉक प्रतिरोध: क्वार्ट्ज में थर्मल विस्तार (सीटीई) का लगभग शून्य गुणांक होता है। यह 15" क्वार्ट्ज बेल जार को फ्रैक्चर या संरचनात्मक थकान के जोखिम के बिना तेजी से तापमान रैंपिंग और शमन का सामना करने की अनुमति देता है - जो उच्च-थ्रूपुट रिएक्टरों के लिए एक महत्वपूर्ण आवश्यकता है।

उत्कृष्ट रासायनिक निष्क्रियता: क्वार्ट्ज अधिकांश एसिड (हाइड्रोफ्लोरिक एसिड के अपवाद के साथ) और संक्षारक प्रक्रिया गैसों के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी है, यह सुनिश्चित करता है कि आक्रामक नक़्क़ाशी या जमाव चक्र के दौरान चैम्बर ख़राब न हो या गैस बाहर न निकले।

2. परिशुद्धता इंजीनियरिंग और ऑप्टिकल स्पष्टता

15" क्वार्ट्ज बेल जार बैच वेफर प्रसंस्करण के उद्देश्य के लिए अधिकतम मात्रा और इष्टतम गैस प्रवाह गतिशीलता प्रदान करता है। जार में एक लंबवत चिमनी (जिसे गर्दन के रूप में भी जाना जाता है) है जिसे गैस के लिए एक इनलेट प्रदान करने या जार से वैक्यूम के माध्यम से गैस निकालने में सहायता करने के लिए सर्वोत्तम रूप से डिज़ाइन किया गया है, जो ऊपर की छवि में दिखाया गया है।

ऑप्टिकल पारदर्शिता - संचरण का उच्च स्तरक्वार्टज़ सामग्रीस्पेक्ट्रम के पराबैंगनी, दृश्यमान और अवरक्त क्षेत्रों में तरंग दैर्ध्य उत्सर्जित करने के लिए वास्तविक समय प्रसंस्करण के साथ-साथ तेजी से थर्मल प्रसंस्करण (आरटीपी) के लिए बाहरी लैंप हीटर का उपयोग करने की अनुमति मिलती है।

प्रबलित सीलिंग सतहें - जार की गर्दन में एक विशेष रूप से विकसित अपारदर्शी सफेद सील (जिसे ग्राउंड जॉइंट भी कहा जाता है) है जो रिएक्टर बेसप्लेट और जार के बीच एक हेमेटिक (हवा से सील) और वैक्यूम-टाइट इंटरफ़ेस प्रदान करता है।

तनाव से राहत के लिए एनीलिंग - सभी 15" क्वार्ट्ज बेल जार को आंतरिक यांत्रिक तनाव से राहत देने के लिए एक कठोर थर्मल एनीलिंग प्रक्रिया से गुजरना पड़ता है जो जार को उड़ाने या आकार देने की यांत्रिक प्रक्रिया द्वारा जार पर रखा गया है, जिससे वैक्यूम लोड के तहत रखे जाने पर जार के स्वचालित रूप से विफल होने की संभावना काफी कम हो जाती है।

3. सेमीकंडक्टर फैब में महत्वपूर्ण अनुप्रयोग

हमारा 15" क्वार्ट्ज बेल जार विशेष रूप से निम्नलिखित उच्च-मूल्य प्रक्रियाओं में एकीकरण के लिए डिज़ाइन किया गया है:

सिलिकॉन एपिटैक्सी: उच्च गुणवत्ता वाले एकल-क्रिस्टल सिलिकॉन परतों को विकसित करने के लिए एक पारदर्शी, गैर-प्रतिक्रियाशील पोत प्रदान करना।

प्लाज्मा संवर्धित सीवीडी (पीईसीवीडी): उच्च ढांकता हुआ शक्ति बनाए रखते हुए संक्षारक प्लाज्मा वातावरण को सहन करना।

प्रसार और ऑक्सीकरण: गेट ऑक्साइड और डोपेंट ड्राइव-इन के निर्माण के लिए एक स्वच्छ, उच्च ताप कक्ष के रूप में कार्य करना।

ऑप्टिकल फाइबर प्रीफॉर्म उत्पादन: विशेष ग्लास के निर्माण में सिलिका परतों के उच्च शुद्धता जमाव के लिए आदर्श।

सेमीकोरेक्स में, हम प्रत्येक बेल जार को सटीक प्रयोगशाला उपकरण के एक टुकड़े के रूप में संभालते हैं। हमारी प्रक्रिया में शामिल हैं: सत्यापित इलेक्ट्रॉनिक-ग्रेड के साथ सख्त सामग्री सोर्सिंगक्वार्ट्जसिल्लियां; उन्नत निर्माण जो पारंपरिक ग्लास-ब्लोइंग कौशल को सीएनसी-नियंत्रित पीसने और पॉलिशिंग के साथ जोड़ता है; और सटीक आयामी जांच के लिए अवशिष्ट तनाव और लेजर इंटरफेरोमेट्री का पता लगाने के लिए ध्रुवीकृत प्रकाश का उपयोग करके गहन निरीक्षण किया गया।