SiC-लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टर्स क्यों चुनें?

ग्रेफाइट संग्राहकएमओसीवीडी उपकरण में आवश्यक भागों में से एक है, वेफर सब्सट्रेट का वाहक और हीटर है। थर्मल स्थिरता और थर्मल एकरूपता के इसके गुण वेफर एपिटैक्सियल विकास की गुणवत्ता में एक निर्णायक भूमिका निभाते हैं, जो सीधे परत सामग्री की एकरूपता और शुद्धता निर्धारित करता है, परिणामस्वरूप इसकी गुणवत्ता सीधे एपिटैक्सियल की तैयारी को प्रभावित करती है। इस बीच, उपयोग की संख्या में वृद्धि और कामकाजी परिस्थितियों में बदलाव के साथ, इसे खोना बहुत आसान है, और उपभोग्य सामग्रियों से संबंधित है। ग्रेफाइट की उत्कृष्ट तापीय चालकता और स्थिरता इसे एक अच्छा लाभ बनाती हैMOCVD उपकरण के लिए एक आधार घटक. हालाँकि, यदि केवल शुद्ध ग्रेफाइट का उपयोग किया जाता है, तो इसमें कुछ समस्याओं का सामना करना पड़ेगा। उत्पादन प्रक्रिया में संक्षारक गैस और धातु कार्बनिक अवशेष होंगे, और ग्रेफाइट बेस खराब हो जाएगा और पाउडर गिरा देगा, जिससे सेवा जीवन बहुत कम हो जाएगाग्रेफाइट संग्राहक, और गिरा हुआ ग्रेफाइट पाउडर भी चिप में प्रदूषण का कारण बनेगा, इसलिए आधार की तैयारी प्रक्रिया में भी आधार की तैयारी के दौरान इन समस्याओं को हल करने की आवश्यकता है। कोटिंग तकनीक सतह पाउडर निर्धारण प्रदान कर सकती है, थर्मल चालकता बढ़ा सकती है, और थर्मल वितरण को बराबर कर सकती है, जो इस समस्या को हल करने के लिए मुख्य तकनीक बन जाती है। इस समस्या को हल करना मुख्य तकनीक है। अनुप्रयोग वातावरण और आवश्यकताओं के अनुसारग्रेफाइट संग्राहक, सतह कोटिंग में निम्नलिखित विशेषताएं होनी चाहिए।

उच्च घनत्व और पूर्ण आवरण: समग्र रूप से ग्रेफाइट बेस उच्च तापमान, संक्षारक कार्य वातावरण में है, सतह को पूरी तरह से लपेटा जाना चाहिए, जबकि कोटिंग में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभाने के लिए अच्छा घनत्व होना चाहिए।

अच्छी सतह समतलता: चूंकि एकल क्रिस्टल विकास के लिए उपयोग किए जाने वाले ग्रेफाइट बेस के लिए बहुत अधिक सतह समतलता की आवश्यकता होती है, कोटिंग तैयार होने के बाद आधार की मूल समतलता बनाए रखी जानी चाहिए, यानी कोटिंग की सतह एक समान होनी चाहिए।

अच्छी बॉन्डिंग ताकत: ग्रेफाइट बेस और कोटिंग सामग्री के बीच थर्मल विस्तार गुणांक के अंतर को कम करने से उनके बीच बॉन्डिंग ताकत में प्रभावी ढंग से सुधार हो सकता है, और उच्च और निम्न तापमान थर्मल चक्रों के बाद कोटिंग को तोड़ना आसान नहीं होता है।

उच्च तापीय चालकता: उच्च गुणवत्ता वाली चिप वृद्धि के लिए ग्रेफाइट बेस से तेज और समान गर्मी की आवश्यकता होती है, इसलिए कोटिंग सामग्री में उच्च तापीय चालकता होनी चाहिए।

उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण और संक्षारण प्रतिरोध: कोटिंग उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में स्थिर रूप से काम करने में सक्षम होनी चाहिए।