एमओसीवीडी प्रमुख उपकरण है

एमओसीवीडी उपकरण सेमीकंडक्टर उद्योग की उत्पादन प्रक्रिया में प्रमुख उपकरण है, लेकिन सेमीकंडक्टर उद्योग श्रृंखला (तीन मुख्य प्रक्रियाएं और उपकरण: लिथोग्राफी, नक़्क़ाशी, पतली फिल्म जमाव), एलईडी उत्पादन लाइन निवेश, एमओसीवीडी में उपकरण निवेश का एक बड़ा हिस्सा भी है। निवेश राशि 50% तक हो सकती है। सीवीडी उपकरण में, सब्सट्रेट को सीधे धातु पर नहीं रखा जा सकता है या केवल एपिटैक्सियल जमाव के लिए आधार के शीर्ष पर रखा जा सकता है, क्योंकि इसमें गैस प्रवाह दिशा (क्षैतिज, ऊर्ध्वाधर), तापमान, दबाव, निर्धारण जैसे विभिन्न कारकों का प्रभाव शामिल होता है। , प्रदूषकों को बहा देना। इसलिए, एक आधार का उपयोग किया जाता है और सब्सट्रेट को एक डिस्क पर रखा जाता है और फिर सीवीडी तकनीक का उपयोग करके सब्सट्रेट के शीर्ष पर एपिटैक्सियल जमाव किया जाता है। यह आधार SiC-लेपित ग्रेफाइट हैसंग्राहक(जिसे a भी कहा जा सकता हैवाहक), और इसकी संरचना नीचे दिए गए चित्र में दिखाई गई है।