सिलिकॉन कार्बाइड वेफर एपिटैक्सी प्रौद्योगिकी

सिलिकन कार्बाइडआमतौर पर पीवीटी विधि का उपयोग किया जाता है, जिसमें 2000 डिग्री से अधिक का तापमान, एक लंबा प्रसंस्करण चक्र और कम आउटपुट होता है, इसलिए सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट की लागत बहुत अधिक होती है। तापमान डिजाइन और उपकरण के संरचनात्मक डिजाइन को छोड़कर, सिलिकॉन कार्बाइड की एपिटैक्सियल प्रक्रिया मूल रूप से सिलिकॉन के समान ही है। उपकरण की तैयारी के संदर्भ में, सामग्री की विशिष्टता के कारण, उपकरण प्रक्रिया सिलिकॉन से भिन्न होती है, जिसमें उच्च तापमान प्रक्रियाओं का उपयोग किया जाता है, जिसमें उच्च तापमान आयन आरोपण, उच्च तापमान ऑक्सीकरण और उच्च तापमान एनीलिंग प्रक्रियाएं शामिल हैं।

यदि आप की विशेषताओं को अधिकतम करना चाहते हैंसिलिकन कार्बाइडस्वयं, सबसे आदर्श समाधान सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल सब्सट्रेट पर एक एपिटैक्सियल परत विकसित करना है। सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल वेफर एक सिलिकॉन कार्बाइड वेफर को संदर्भित करता है जिस पर कुछ आवश्यकताओं के साथ एक एकल क्रिस्टल पतली फिल्म (एपिटैक्सियल परत) और सब्सट्रेट के समान क्रिस्टल सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट पर उगाया जाता है।

के मुख्य उपकरणों के लिए बाजार में चार प्रमुख कंपनियां हैंसिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल सामग्री:

[1]Aixtronजर्मनी में: अपेक्षाकृत बड़ी उत्पादन क्षमता की विशेषता;

[2]एलपीईइटली में, जो बहुत उच्च विकास दर वाला सिंगल-चिप माइक्रो कंप्यूटर है;

[3]दूरभाषऔरNuflareजापान में, जिसके उपकरण बहुत महंगे हैं, और दूसरी बात, दोहरी-गुहा, जिसका उत्पादन बढ़ाने पर एक निश्चित प्रभाव पड़ता है। उनमें से, Nuflare हाल के वर्षों में लॉन्च किया गया एक बहुत ही विशिष्ट उपकरण है। यह उच्च गति से घूम सकता है, प्रति मिनट 1,000 चक्कर तक, जो एपिटेक्सी की एकरूपता के लिए बहुत फायदेमंद है। साथ ही, इसकी वायु प्रवाह दिशा अन्य उपकरणों से भिन्न होती है, जो लंबवत नीचे की ओर होती है, इसलिए यह कुछ कणों की उत्पत्ति से बच सकती है और वेफर पर टपकने की संभावना को कम कर सकती है।

टर्मिनल एप्लिकेशन परत के परिप्रेक्ष्य से, सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री में हाई-स्पीड रेल, ऑटोमोटिव इलेक्ट्रॉनिक्स, स्मार्ट ग्रिड, फोटोवोल्टिक इन्वर्टर, औद्योगिक इलेक्ट्रोमैकेनिकल, डेटा सेंटर, सफेद सामान, उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स, 5 जी संचार, अगले में अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला है। पीढ़ी प्रदर्शन और अन्य क्षेत्र, और बाजार की क्षमता बहुत बड़ी है।

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