SiC क्रिस्टल वृद्धि के लिए झरझरा ग्रेफाइट सामग्री का महत्व

सेमीकोरेक्स का SiC क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेस घटक,झरझरा ग्रेफाइट बैरल, तीन प्रमुख लाभ लाएगा और घरेलू प्रतिस्पर्धात्मकता को प्रभावी ढंग से मजबूत कर सकता हैSiC सबस्ट्रेट्स:

• SiC क्रिस्टल विकास घटकों की लागत कम करें;
• SiC क्रिस्टल की मोटाई बढ़ाएं और सब्सट्रेट की कुल लागत कम करें;
• SiC क्रिस्टल उपज में सुधार और कॉर्पोरेट प्रतिस्पर्धात्मकता बढ़ाएँ।

SiC क्रिस्टल ग्रोथ भट्टियों में झरझरा ग्रेफाइट शीट जोड़ना उद्योग में हॉट स्पॉट में से एक है। डालने से यह सिद्ध हो गया हैझरझरा ग्रेफाइटSiC स्रोत पाउडर के ऊपर शीट, क्रिस्टल क्षेत्र में अच्छा द्रव्यमान स्थानांतरण प्राप्त किया जाता है, जो पारंपरिक क्रिस्टल विकास भट्टियों में मौजूद विभिन्न तकनीकी समस्याओं में सुधार कर सकता है।

(ए) पारंपरिक क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेस, (बी) झरझरा ग्रेफाइट शीट के साथ क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेस

स्रोत: डोंगुई विश्वविद्यालय, दक्षिण कोरिया

प्रयोगों से पता चला है कि पारंपरिक क्रिस्टल विकास भट्टियों का उपयोग करते समय, SiC सबस्ट्रेट्स में आमतौर पर विभिन्नता होती हैपॅलिमरफ्स, जैसे कि 6H और 15R-SiC, जबकिSiC सबस्ट्रेट्सझरझरा ग्रेफाइट-आधारित क्रिस्टल विकास भट्टियों का उपयोग करके ही तैयार किया जाता है4H-SiC मोनोक्रिस्टल. इसके अलावा, माइक्रोट्यूब घनत्व (एमपीडी) और नक़्क़ाशी गड्ढे घनत्व (ईपीडी) भी काफी कम हो गए हैं। दो क्रिस्टल ग्रोथ भट्टियों का एमपीडी क्रमशः 6-7EA/cm2 और 1-2EA/cm2 है, जो हो सकता है6 गुना तक कम हो गया.

सेमीकोरेक्स ने एक नई "वन-टाइम मास ट्रांसफर" प्रक्रिया भी शुरू की हैझरझरा ग्रेफाइट शीट. झरझरा ग्रेफाइट बहुत अच्छा होता हैशुद्धिकरण क्षमता. नई प्रक्रिया प्राथमिक द्रव्यमान स्थानांतरण के लिए एक नए थर्मल क्षेत्र का उपयोग करती है, जो द्रव्यमान स्थानांतरण दक्षता में सुधार करती है और मूल रूप से स्थिर बनाती है, जिससे पुनर्क्रिस्टलीकरण (द्वितीयक द्रव्यमान स्थानांतरण से बचना) के प्रभाव को कम किया जाता है, जिससे सूक्ष्मनलिकाएं या अन्य संबंधित क्रिस्टल दोषों का जोखिम प्रभावी रूप से कम हो जाता है। इसके अलावा, झरझरा ग्रेफाइट भी SiC क्रिस्टल की वृद्धि और मोटाई की समस्या को हल करने वाली मुख्य प्रौद्योगिकियों में से एक है, क्योंकि यह गैस चरण घटकों को संतुलित कर सकता है, ट्रेस अशुद्धियों को अलग कर सकता है, स्थानीय तापमान को समायोजित कर सकता है और कार्बन रैपिंग जैसे भौतिक कणों को कम कर सकता है। इस आधार पर कि क्रिस्टल का उपयोग किया जा सकता है,क्रिस्टल की मोटाईकम कर सकते है। काफी बढ़ सकता है.

की तकनीकी विशेषताएंसेमीकोरेक्स झरझरा ग्रेफाइट:

सरंध्रता 65% तक पहुँच सकती है;

छिद्र समान रूप से वितरित होते हैं;

उच्च बैच स्थिरता;

उच्च शक्ति, ≤1 मिमी अल्ट्रा-पतली बेलनाकार आकार तक पहुंच सकती है।

सेमीकोरेक्स उच्च गुणवत्ता प्रदान करता हैझरझरा ग्रेफाइटभागों. यदि आपके पास कोई पूछताछ है या अतिरिक्त विवरण की आवश्यकता है, तो कृपया हमसे संपर्क करने में संकोच न करें।

संपर्क फ़ोन # +86-13567891907

ईमेल: sales@samicorex.com