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प्राइवेट विधि द्वारा उच्च गुणवत्ता वाले SiC क्रिस्टल विकास के लिए झरझरा ग्रेफाइट

2023-12-18

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सेमीकंडक्टर प्रौद्योगिकी के क्षेत्र में एक प्रमुख सामग्री के रूप में उभरा है, जो असाधारण गुण प्रदान करता है जो इसे विभिन्न इलेक्ट्रॉनिक और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक अनुप्रयोगों के लिए अत्यधिक वांछनीय बनाता है। पावर इलेक्ट्रॉनिक्स, एलईडी और उच्च-आवृत्ति उपकरणों जैसे उपकरणों की क्षमताओं को आगे बढ़ाने के लिए उच्च गुणवत्ता वाले SiC सिंगल क्रिस्टल का उत्पादन महत्वपूर्ण है। इस लेख में, हम 4H-SiC एकल क्रिस्टल विकास के लिए भौतिक वाष्प परिवहन (PVT) विधि में झरझरा ग्रेफाइट के महत्व पर प्रकाश डालते हैं।


PVT विधि SiC एकल क्रिस्टल के उत्पादन के लिए व्यापक रूप से नियोजित तकनीक है। इस प्रक्रिया में उच्च तापमान वाले वातावरण में SiC स्रोत सामग्रियों का उर्ध्वपातन शामिल है, जिसके बाद एकल क्रिस्टल संरचना बनाने के लिए बीज क्रिस्टल पर उनका संघनन होता है। इस विधि की सफलता काफी हद तक विकास कक्ष के भीतर की स्थितियों पर निर्भर करती है, जिसमें तापमान, दबाव और उपयोग की जाने वाली सामग्री शामिल है।


झरझरा ग्रेफाइट, अपनी अनूठी संरचना और गुणों के साथ, SiC क्रिस्टल विकास प्रक्रिया को बढ़ाने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। पारंपरिक पीवीटी तरीकों से उगाए गए SiC क्रिस्टल में कई क्रिस्टल रूप होंगे। हालाँकि, भट्टी में झरझरा ग्रेफाइट क्रूसिबल का उपयोग करने से 4H-SiC सिंगल क्रिस्टल की शुद्धता में काफी वृद्धि हो सकती है।


4H-SiC एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए PVT विधि में झरझरा ग्रेफाइट का समावेश अर्धचालक प्रौद्योगिकी के क्षेत्र में एक महत्वपूर्ण प्रगति का प्रतिनिधित्व करता है। झरझरा ग्रेफाइट के अद्वितीय गुण बढ़े हुए गैस प्रवाह, तापमान एकरूपता, तनाव में कमी और बेहतर गर्मी लंपटता में योगदान करते हैं। इन कारकों के परिणामस्वरूप सामूहिक रूप से कम दोषों के साथ उच्च गुणवत्ता वाले SiC एकल क्रिस्टल का उत्पादन होता है, जिससे अधिक कुशल और विश्वसनीय इलेक्ट्रॉनिक और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों के विकास का मार्ग प्रशस्त होता है। जैसे-जैसे सेमीकंडक्टर उद्योग का विकास जारी है, SiC क्रिस्टल विकास प्रक्रियाओं में झरझरा ग्रेफाइट का उपयोग इलेक्ट्रॉनिक सामग्री और उपकरणों के भविष्य को आकार देने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाने के लिए तैयार है।


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