सीवीडी विधि से टीएसी कोटिंग

टैंटलम कार्बाइड कोटिंग 4273 डिग्री सेल्सियस तक के पिघलने बिंदु के साथ एक महत्वपूर्ण उच्च शक्ति, संक्षारण प्रतिरोधी और रासायनिक रूप से स्थिर उच्च तापमान संरचनात्मक सामग्री है, जो उच्चतम तापमान प्रतिरोध वाले कई यौगिकों में से एक है। इसमें उत्कृष्ट उच्च तापमान यांत्रिक गुण, उच्च गति वाले वायु प्रवाह के प्रतिरोध, अपक्षय प्रतिरोध, और ग्रेफाइट और कार्बन/कार्बन कंपोजिट के साथ अच्छी रासायनिक और यांत्रिक संगतता है। इसलिए, GaN LED और MOCVD जैसे SiC पावर उपकरणों की एपिटैक्सियल प्रक्रिया में, TaC कोटिंग में H2, HCl, NH3 के लिए उत्कृष्ट एसिड और क्षार प्रतिरोध होता है, जो ग्रेफाइट सब्सट्रेट सामग्री की पूरी तरह से रक्षा कर सकता है और विकास पर्यावरण को शुद्ध कर सकता है।

TaC कोटिंग 2000 डिग्री सेल्सियस से ऊपर के तापमान पर स्थिर रहती है, जबकि SiC कोटिंग 1200-1400 डिग्री सेल्सियस पर विघटित होने लगती है, जिससे ग्रेफाइट सब्सट्रेट की अखंडता में भी काफी सुधार होगा। टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स वर्तमान में मुख्य रूप से सीवीडी द्वारा ग्रेफाइट सब्सट्रेट पर तैयार की जाती हैं, और SiC पावर उपकरणों और GaNLEDs एपिटैक्सियल उपकरणों की मांग को पूरा करने के लिए TaC कोटिंग्स की उत्पादन क्षमता को और बढ़ाया जाएगा।

रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) द्वारा कार्बन सामग्री पर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स जमा करने के लिए उपयोग की जाने वाली रासायनिक प्रतिक्रिया प्रणाली TaCl5, C3H6, H2 और Ar है, जहां Ar का उपयोग तनुकरण और गैस ले जाने के रूप में किया जाता है।

टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स MOCVD का उपयोग करके GaN LED और SiC पावर उपकरणों की एपिटैक्सियल प्रक्रिया में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती हैं। उन्नत सामग्रियां महत्वपूर्ण घटकों की रक्षा करती हैं, उच्च तापमान वाले अर्धचालक निर्माण से जुड़ी कठोर परिस्थितियों में उनकी दीर्घायु और प्रदर्शन सुनिश्चित करती हैं।

जैसे-जैसे SiC बिजली उपकरणों और GaN LED की मांग बढ़ती जा रही है, टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स की उत्पादन क्षमता का विस्तार होना तय है। निर्माता इन उद्योगों की बढ़ती आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए तैयार हैं, जिससे उच्च तापमान प्रौद्योगिकी के विकास को सुविधाजनक बनाया जा सके।

निष्कर्ष के तौर पर,टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्सउच्च तापमान वाले वातावरण में सामग्रियों की स्थायित्व और विश्वसनीयता सुनिश्चित करने में एक अविश्वसनीय तकनीकी छलांग का प्रतिनिधित्व करते हैं। जैसे-जैसे वे सेमीकंडक्टर और पावर इलेक्ट्रॉनिक्स क्षेत्रों में क्रांति लाना जारी रखते हैं, ये कोटिंग्स आधुनिक उच्च-तकनीकी प्रगति के एक महत्वपूर्ण तत्व के रूप में उनकी स्थिति को रेखांकित करती हैं।