झरझरा एल्युमिना वैक्यूम चक

वैक्यूम चक एक कनेक्टिंग ट्यूब के माध्यम से वैक्यूम उपकरण से जुड़ा होता है। जब वैक्यूम चक वर्कपीस, जैसे कि वेफर/पतली फिल्म सामग्री, के संपर्क में आता है, तो वैक्यूम उपकरण काम करना शुरू कर देता है, जिससे वैक्यूम चक के अंदर नकारात्मक दबाव पैदा होता है। वायुमंडलीय दबाव के तहत, वर्कपीस वैक्यूम चक से मजबूती से चिपक जाता है, जिससे प्रसंस्करण की अनुमति मिलती है। प्रसंस्करण पूरा होने के बाद, वैक्यूम उपकरण काम करना बंद कर देता है और धीरे-धीरे वैक्यूम चक को गैस से भर देता है, जिससे वर्कपीस स्वचालित रूप से चक से अलग हो जाता है। यह वर्कपीस की क्लैम्पिंग, प्रोसेसिंग और हैंडलिंग को पूरा करता है।

सेमीकंडक्टर फोटोलिथोग्राफी का मुख्य लक्ष्य नैनोमीटर-स्तर की सटीकता के साथ एक वेफर पर अरबों ट्रांजिस्टर सर्किट पैटर्न को "प्रिंट" करना है। "फोटोलिथोग्राफी" का सार अत्यधिक फोटोसेंसिटिव फोटोरेसिस्ट को विकिरणित करने के लिए एक प्रकाश स्रोत का उपयोग करना है, जिससे एक रासायनिक प्रतिक्रिया होती है जो सर्किट को खोदती है। हालाँकि, जब प्रकाश स्रोत वेफर को विकिरणित करता है, तो यह अनिवार्य रूप से इलेक्ट्रोस्टैटिक चक पर भी चमकता है, जो वेफर वाहक के रूप में कार्य करता है। परिणामस्वरूप परावर्तित द्वितीयक प्रकाश फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया में हस्तक्षेप कर सकता है, जिससे अनपेक्षित क्षेत्रों में एक्सपोज़र हो सकता है और सर्किटरी को नुकसान हो सकता है। इसलिए, वैक्यूम चक के लिए एक काली सतह प्रतिबिंब को कम करती है, जिससे फोटोलिथोग्राफी प्रणाली की सटीक आवश्यकताएं सुनिश्चित होती हैं। इस क्षमता के आधार पर, काली एल्यूमिना का उपयोग न केवल इलेक्ट्रोस्टैटिक चक में बल्कि "प्रकाश-दबाने वाले" परिदृश्यों में भी व्यापक रूप से किया जा सकता है। एआई युग के आगमन ने ऑप्टिकल संचार अनुप्रयोगों में महत्वपूर्ण विकास को सक्षम किया है, और काले एल्यूमिना सब्सट्रेट अक्सर ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों और प्रकाश उत्सर्जक तत्वों की पैकेजिंग में देखे जाते हैं।

काला एल्यूमिना सिरेमिकयह मुख्य रूप से Al2O3 से बना है, जिसमें रंगीन और सिंटरिंग सहायक के रूप में संक्रमण धातु ऑक्साइड मिलाए जाते हैं, एक विशिष्ट तापमान पर सिंटर किया जाता है। कलरेंट इस प्रकार के सिरेमिक का एक महत्वपूर्ण घटक है, जो इसके अंतिम रंग का निर्धारण करता है। वैक्यूम चक के लिए कलरेंट का चयन करते समय, वैक्यूम चक के रंग की डिग्री, यांत्रिक शक्ति, सरंध्रता और छिद्र के आकार को सुनिश्चित करना आवश्यक है।

वर्तमान में, घरेलू और अंतरराष्ट्रीय स्तर पर रंगीन के रूप में आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले संक्रमण धातु ऑक्साइड में Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 और MnO2 शामिल हैं, जिनमें Fe2O3, CoO, NiO और MnO2 सबसे अधिक प्रचलित हैं। क्योंकि उच्च तापमान पर एल्यूमिना कम अस्थिर होता है, जबकि संक्रमण धातु ऑक्साइड इसके विपरीत होते हैं, तापमान के साथ उनकी अस्थिरता बढ़ जाती है। ये ऑक्साइड उच्च तापमान वाले सिंटरिंग के दौरान स्पिनल-प्रकार के यौगिक बनाते हैं, जिससे उनकी अस्थिरता कम हो जाती है। इसलिए, संक्रमण धातु ऑक्साइड के अस्थिरता को दबाने के लिए, उन्हें कम तापमान पर स्पिनल-प्रकार के यौगिकों में संयोजित करने की अनुमति देने के लिए उचित प्रक्रिया स्थितियों का चयन किया जाना चाहिए।

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