हाई-एंड इलेक्ट्रोस्टैटिक चक के लिए भूतल उपचार

The इलेक्ट्रोस्टैटिक चकसेमीकंडक्टर निर्माण के क्षेत्र में एक समान इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज, ताप संचालन और वेफर सोखना और निर्धारण जैसे कई कार्य करता है। ईएससी के मुख्य कार्यों में से एक उच्च वैक्यूम, मजबूत प्लाज्मा और विस्तृत तापमान सीमा जैसी अत्यधिक परिचालन स्थितियों के तहत वेफर्स को स्थिर रूप से सोखना है।

जो वास्तव में उनके प्रदर्शन को निर्धारित करता है वह बाहरी संरचना या आधार सामग्री सूत्र नहीं है, बल्कि सतह उपचार प्रक्रिया है। पेशेवर सतह उपचार के बिना, ऑपरेशन के दौरान निम्नलिखित समस्याओं का सामना करना पड़ेगा:

1. प्लाज्मा क्षरण और धातु आयन संदूषण

असुरक्षित सिरेमिक सतहें नक़्क़ाशी या सीवीडी प्रक्रिया सेटिंग्स में प्लाज्मा क्षरण के प्रति संवेदनशील होती हैं। इस प्रकार के क्षरण के परिणामस्वरूप सीधे धातु आयन निकल सकते हैं या सिरेमिक कण निकल सकते हैं, जिससे वेफर दूषित हो सकता है।

2. असमान तापीय चालकता और वारपेज विरूपण

खुरदरी सतहों या खराब उपचार के परिणामस्वरूप वेफर और के बीच असमान संपर्क होता हैईएससी, ताप संचालन में बाधा डालता है और सीडी की एकरूपता को प्रभावित करता है।

3. अस्थिर इलेक्ट्रोस्टैटिक सोखना

सतह इन्सुलेशन प्रदर्शन या इलेक्ट्रोस्टैटिक चक की चालकता का गलत नियंत्रण आसानी से अपर्याप्त सोखना बल या अत्यधिक सोखना का कारण बन सकता है, जो अंततः सीधे वेफर प्रसंस्करण की उपज को प्रभावित करता है।

इस प्रकार की कोटिंग अपनी कम सतह मुक्त ऊर्जा के कारण कम तापमान वाले प्रक्रिया वातावरण के लिए विशेष रूप से उपयुक्त है, जो फोटोरेसिस्ट अवशेषों के सोखने को प्रभावी ढंग से रोकती है।

उच्च-स्तरीय ईएससी की सामान्य सतह उपचार प्रौद्योगिकियाँ:

1.फ्लोरोपॉलीमर गैर-चिपकने वाली कोटिंग्स (जैसे पीटीएफई और पीएफए)

इस प्रकार की कोटिंग अपनी कम सतह मुक्त ऊर्जा के कारण कम तापमान वाले प्रक्रिया वातावरण के लिए विशेष रूप से उपयुक्त है, जो फोटोरेसिस्ट अवशेषों के सोखने को प्रभावी ढंग से रोकती है।

2. हीरे जैसी कार्बन (डीएलसी) कोटिंग

उच्च कठोरता, प्लाज्मा प्रतिरोध और कम घर्षण गुणांक के साथ, वे नक़्क़ाशी उपकरण में कटाव-विरोधी और कण-विरोधी पृथक्करण अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त हैं।

3. PVD प्रवाहकीय सिरेमिक फिल्में (जैसे CrSiN और TiN)

इस प्रकार की कोटिंग एक विशिष्ट क्षेत्र में एक स्थिर प्रवाहकीय पथ का निर्माण कर सकती है, और इस प्रकार सतह चार्ज के समान निर्वहन को सटीक रूप से नियंत्रित करके स्थानीय चार्ज संचय की समस्या से प्रभावी ढंग से बच सकती है।

4. समग्र थर्मल प्रवाहकीय कोटिंग्स (जैसे डायमंड पाउडर और फ्लोरोपॉलीमर हाइब्रिड कोटिंग)

इस प्रकार की कोटिंग गैर-चिपकने वाले गुणों को तापीय चालकता के साथ जोड़ती है, और इसका समग्र प्रदर्शन उच्च-सटीक थर्मल नियंत्रण ईएससी की अनुप्रयोग आवश्यकताओं से सटीक रूप से मेल खा सकता है।