प्रवाहकीय लेपित ग्रेफाइट हीटर

The प्रवाहकीय लेपित ग्रेफाइट हीटरउच्च तापमान अर्धचालक प्रसंस्करण और अन्य वैक्यूम थर्मल सिस्टम के लिए डिज़ाइन किया गया एक नया उत्पाद है। यह उच्च शुद्धता ग्रेफाइट की अच्छी थर्मल स्थिरता और एक सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) कोटिंग की उत्कृष्ट सतह विशेषताओं को नियोजित करता है। प्रवाहकीय लेपित ग्रेफाइट हीटर को इसके नाइट्रोजन-डोप किए गए एसआईसी परत द्वारा अलग किया जाता है जो सतह में बहुत सुधार की पेशकश करता है, जिससे यह विशेष रूप से उन अनुप्रयोगों के लिए अच्छी तरह से अनुकूल होता है जिन्हें नियंत्रित और यहां तक कि महान विद्युत प्रदर्शन के साथ हीटिंग की आवश्यकता होती है।

हीटर का निर्माण एक उच्च शक्ति वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट के साथ किया जाता है, जो कोर स्ट्रक्चरल और थर्मल कंडक्टर के रूप में कार्य करता है। ग्रेफाइट को चुना गया था, विशेष रूप से इसके उच्च स्तर के तापीय चालकता, कम थर्मल विस्तार गुणांक और थर्मल शॉक के लिए लचीलापन दिया गया था। ये विशेषताएं ग्रेफाइट को उच्च तापमान प्रक्रिया अनुप्रयोगों में एक उपयुक्त आधार सामग्री बनाती हैं जहां तेजी से हीटिंग और शीतलन चक्र हो सकते हैं। हालांकि, प्राचीन ग्रेफाइट स्वयं कुछ वायुमंडल में रासायनिक रूप से प्रतिक्रियाशील है और विस्तारित उपयोग के दौरान सतह के नुकसान या गिरावट, कण उत्सर्जन, या कैरीओवर का अनुभव कर सकता है, विशेष रूप से अर्धचालक क्लीनरूम वातावरण में।

इन सीमाओं को दूर करने के लिए, ग्रेफाइट भाग को एक मोटी, उच्च शुद्धता वाली सीआईसी परत के साथ लेपित किया जाता है। एसआईसी कोटिंग कई कार्यों को पूरा करती है: यह ऑक्सीकरण और रासायनिक संक्षारण के खिलाफ सुरक्षा का स्तर प्रदान करता है, यह एक बहुत ही कठिन, पहनने के प्रतिरोधी सतह प्रदान करता है, और यह वैक्यूम और क्लीनरूम मानकों के साथ संगतता सुनिश्चित करता है। एसआईसी में अत्यधिक कठोरता, उच्च तापीय चालकता और रासायनिक जड़ता के लिए एक प्रतिष्ठा है; इस कारण से यह उच्च-प्रदर्शन थर्मल घटकों के लिए एक उत्कृष्ट कोटिंग सामग्री है।

इस उत्पाद का अनूठा नवाचार SIC कोटिंग का नाइट्रोजन डोपिंग है। रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया के दौरान, नाइट्रोजन परमाणुओं को एसआईसी जाली में एम्बेड किया जाता है, जिससे मुक्त वाहक का उत्पादन होता है, जो नाटकीय रूप से इसकी सतह प्रतिरोधकता को कम कर सकता है, और इसलिए एक प्रवाहकीय सतह परत बना सकता है और वर्तमान को सीधे पास करने के बजाय, एसआईसी कोटिंग के माध्यम से एक एक्सेस प्वाइंट का उपयोग करने की अनुमति देता है, इस प्रकार संपूर्ण ग्रेफाइट घटक को एक प्रतिरोधक गर्मी तत्व के रूप में कार्य करने की अनुमति देता है।

क्लासिकसीसी कोटिंग्सइन्सुलेटिंग हैं, जो वास्तव में उन्हें सक्रिय विद्युत अनुप्रयोगों के दायरे में सीमित करता है। इसके विपरीत, हीटर पर नाइट्रोजन-डॉप्ड एसआईसी परत में एक बहुत कम सतह प्रतिरोध होता है, जबकि अभी भी क्लासिक एसआईसी के सभी यांत्रिक और रासायनिक लाभों को बनाए रखता है। प्रवाहकीय परत बहुत अच्छी वर्तमान एकरूपता प्रदान करती है और हीटर की सतह पर थर्मल वितरण में सुधार करते हुए बिजली के नुकसान को कम करती है। यह विशेष रूप से एपिटैक्सियल रिएक्टरों, प्रसार भट्टियों और रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी) उपकरणों के साथ जुड़े स्थितियों के तहत सटीक ताप अनुप्रयोगों के लिए विशेष रूप से आदर्श है।

हीटर ज्यामिति, आमतौर पर सर्पिल या सर्पेंटाइन जैसा कि छवि में दिखाया गया है, को समान थर्मल आउटपुट ऊर्जा और समान विद्युत लोडिंग के उत्पादन के इरादे से डिज़ाइन और अनुकूलित किया जाता है। ग्रेफाइट और प्रवाहकीय एसआईसी कोटिंग के एकीकृत डिजाइन के साथ, विद्युत संपर्क सीधे लेपित सतह पर किए जा सकते हैं जो किसी भी अतिरिक्त इलेक्ट्रोड या धातु कनेक्शन की आवश्यकता को समाप्त करता है। यह संदूषण जोखिमों को कम करता है और एक सरल विधानसभा में परिणाम देता है। नतीजतन, समग्र दक्षता में सुधार हुआ है।

प्रवाहकीय के प्रमुख लाभसिस-कोटेड ग्रेफाइट हीटरशामिल करना:

नाइट्रोजन डोपिंग के कारण उत्कृष्ट विद्युत चालकता, प्रत्यक्ष वर्तमान प्रवाह और कुशल प्रतिरोधक ताप को सक्षम करना।

पूरे सतह क्षेत्र पर सटीक तापमान नियंत्रण के साथ बेहतर थर्मल एकरूपता।

उच्च रासायनिक प्रतिरोध, विशेष रूप से संक्षारक वातावरण में जैसे हाइड्रोजन, अमोनिया, या हैलोजेन-समृद्ध वायुमंडल।

न्यूनतम कण पीढ़ी, अर्धचालक निर्माण की कड़े शुद्धता आवश्यकताओं को पूरा करना।

विस्तारित सेवा जीवन, ग्रेफाइट कोर और एसआईसी कोटिंग दोनों के यांत्रिक स्थायित्व और थर्मल शॉक प्रतिरोध के कारण।

इस हीटर के लिए आवेदन कई उन्नत प्रौद्योगिकी उद्योगों में विस्तारित हैं। हीटर को रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी), आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई), और वेफर एनीलिंग जैसी सेमीकंडक्टर विनिर्माण प्रक्रियाओं में एक जगह मिलेगी, जहां सटीक तापमान नियंत्रण और सामग्री का शुद्धता महत्वपूर्ण है। एसआईसी-लेपित ग्रेफाइट हीटर का उपयोग फोटोवोल्टिक उत्पादन में भी किया जा सकता है, उन्नत सिरेमिक का सिंटरिंग, और अन्य थर्मल प्रक्रियाओं में जहां उच्च प्रदर्शन, स्थायित्व और मजबूत हीटर की आवश्यकता होती है।

सारांश में, प्रवाहकीय एसआईसी-लेपित ग्रेफाइट हीटर थर्मल घटकों के विकास में एक प्रभावशाली उन्नति है। एक नाइट्रोजन-डॉप्ड एसआईसी कोटिंग का उपयोग करके, हमने एक प्रभावी थर्मल उत्पाद विकसित किया है, जो सफलतापूर्वक विद्युत चालकता के साथ एसआईसी कोटिंग की रासायनिक स्थिरता को जोड़ती है। इस प्रकार, एक थर्मल प्रक्रिया का उत्पादन करना जो अधिक कुशल, क्लीनर और सबसे अधिक मांग वाले औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए अधिक विश्वसनीय है। अर्धचालक और सामग्री उद्योगों का सामना निरंतर परिवर्तन और इस तरह की हाइब्रिड सामग्री भविष्य में अधिक उन्नत प्रौद्योगिकियों को विनिर्माण के लिए अधिक उन्नत तकनीकों को सक्षम करने में महत्वपूर्ण हो जाएगी।

अर्धविराम उच्च गुणवत्ता की पेशकश करता हैकोटिंग के साथ ग्रेफाइट हीटरउत्पाद। यदि आपके पास कोई पूछताछ है या अतिरिक्त विवरण की आवश्यकता है, तो कृपया हमारे साथ संपर्क करने में संकोच न करें।

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