अर्धचालक शावरहेड्स

The गैस वितरण प्लेट, अक्सर एक "शावरहेड" के रूप में संदर्भित किया जाता है, एक पारंपरिक शावरहेड जैसा हो सकता है, लेकिन इसकी कीमत सैकड़ों हजारों तक पहुंच सकती है, जो एक विशिष्ट बाथरूम शॉवर की तुलना में काफी अधिक है।

गैस वितरण प्लेट की सतह में सैकड़ों या यहां तक कि हजारों छोटे, ठीक से व्यवस्थित छेद हैं, जो एक बारीक बुने हुए तंत्रिका नेटवर्क से मिलते -जुलते हैं। यह डिज़ाइन गैस प्रवाह और इंजेक्शन कोणों के सटीक नियंत्रण के लिए अनुमति देता है, यह सुनिश्चित करता है कि वेफर प्रसंस्करण क्षेत्र का प्रत्येक हिस्सा प्रक्रिया गैस में समान रूप से "स्नान" है। यह न केवल उत्पादन दक्षता को बढ़ाता है, बल्कि उत्पाद की गुणवत्ता में भी सुधार करता है।

गैस वितरण प्लेट सफाई, नक़्क़ाशी और बयान जैसी प्रमुख प्रक्रियाओं के लिए अभिन्न अंग है। यह सीधे अर्धचालक प्रक्रियाओं की सटीकता और अंतिम उत्पादों की गुणवत्ता को प्रभावित करता है, जिससे यह विभिन्न गैस वितरण अनुप्रयोगों में एक महत्वपूर्ण घटक बन जाता है।

वेफर प्रतिक्रिया प्रक्रिया के दौरान, की सतहशावर का फव्वाराघनी रूप से micropores (एपर्चर 0.2-6 मिमी) के साथ कवर किया गया है। सटीक रूप से डिज़ाइन किए गए चैनल संरचना और गैस पथ के माध्यम से, विशेष प्रक्रिया गैस को समान गैस प्लेट पर हजारों छोटे छेदों से गुजरने की आवश्यकता होती है और फिर समान रूप से वेफर सतह पर जमा किया जाता है। वेफर के विभिन्न क्षेत्रों में फिल्म की परत को उच्च एकरूपता और स्थिरता सुनिश्चित करने की आवश्यकता है। इसलिए, स्वच्छता और संक्षारण प्रतिरोध के लिए अत्यधिक उच्च आवश्यकताओं के अलावा, गैस वितरण प्लेट में गैस वितरण प्लेट पर छोटे छेदों के एपर्चर और छोटे छेदों की आंतरिक दीवार पर बूर्स के एपर्चर की स्थिरता पर सख्त आवश्यकताएं होती हैं। यदि एपर्चर आकार सहिष्णुता और स्थिरता मानक विचलन बहुत बड़े हैं या किसी भी आंतरिक दीवार पर बूर हैं, तो जमा फिल्म परत की मोटाई अलग होगी, जो उपकरणों की प्रक्रिया की उपज को सीधे प्रभावित करेगी।

गैस वितरण प्लेट की सामग्री कभी -कभी भंगुर सामग्री होती है (जैसे कि सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन, क्वार्ट्ज ग्लास, सेरामिक्स), जो बाहरी बल की कार्रवाई के तहत तोड़ना आसान है। यह माइक्रोप्रोर के व्यास के 50 गुना के भीतर एक अल्ट्रा-डीप छेद भी है, और काटने की स्थिति को सीधे नहीं देखा जा सकता है। इसके अलावा, कटिंग गर्मी को संचारित करना आसान नहीं है और चिप हटाने में मुश्किल होती है, और चिप रुकावट के कारण ड्रिल बिट आसानी से टूट जाता है। इसलिए, इसकी प्रसंस्करण और तैयारी बहुत मुश्किल है।

इसके अलावा, प्लाज्मा-असिस्टेड प्रक्रियाओं (जैसे कि PECVD और DRY ETCHING) में, शॉवर हेड, इलेक्ट्रोड के हिस्से के रूप में, प्लाज्मा के समान वितरण को बढ़ावा देने के लिए RF बिजली की आपूर्ति के माध्यम से एक समान विद्युत क्षेत्र उत्पन्न करने की आवश्यकता है, जिससे नक़्क़ाशी या जमा की एकरूपता में सुधार होता है।

चूंकि अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में उपयोग की जाने वाली गैसें उच्च तापमान, उच्च दबाव या संक्षारक हो सकती हैं, शावरहेड आमतौर पर संक्षारण प्रतिरोधी सामग्री से बना होता है। वास्तविक उत्पादन में, विभिन्न उपयोग परिदृश्यों और वास्तविक आवश्यक सटीकता के कारण, गैस वितरण प्लेट को इसकी सामग्री संरचना के अनुसार निम्नलिखित दो श्रेणियों में विभाजित किया जा सकता है:

(1) धातु गैस वितरण प्लेट

धातु गैस वितरण प्लेटों की सामग्री में एल्यूमीनियम मिश्र धातु, स्टेनलेस स्टील और निकल धातु शामिल हैं, जिनमें से सबसे व्यापक रूप से उपयोग की जाने वाली धातु गैस वितरण प्लेट सामग्री एल्यूमीनियम मिश्र धातु है, क्योंकि इसमें अच्छी तापीय चालकता और मजबूत संक्षारण प्रतिरोध है। यह व्यापक रूप से उपलब्ध है और प्रक्रिया में आसान है।

(२) गैर-धातु गैस वितरण प्लेट

गैर-धातु गैस वितरण प्लेटों की सामग्री में एकल क्रिस्टल सिलिकॉन, क्वार्ट्ज ग्लास और सिरेमिक सामग्री शामिल हैं। उनमें से, आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली सिरेमिक सामग्री सीवीडी-एसआईसी, एल्यूमिना सिरेमिक, सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक, आदि हैं।

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