एल्यूमिना सामग्री का परिचय

एल्यूमिना सिरेमिकघटकों में उच्च कठोरता, उच्च यांत्रिक शक्ति, सुपर पहनने के प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च प्रतिरोधकता और अच्छे विद्युत इन्सुलेशन प्रदर्शन जैसे उत्कृष्ट गुण होते हैं। वे वैक्यूम और उच्च तापमान जैसे विशेष वातावरण में अर्धचालक विनिर्माण की जटिल प्रदर्शन आवश्यकताओं को पूरा कर सकते हैं। वे अर्धचालक विनिर्माण उत्पादन लाइनों में एक अपूरणीय और महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। उनके अनुप्रयोग लगभग सभी अर्धचालक विनिर्माण उपकरणों को कवर करते हैं और अर्धचालक उत्पादन उपकरण के प्रमुख घटक हैं। अर्धचालक उद्योग के निरंतर विकास के साथ, औद्योगिक श्रृंखला में एल्यूमिना सिरेमिक घटकों का महत्व अधिक प्रमुख हो जाएगा।

जैसे -जैसे चिप सुविधा का आकार घटता है, सेमीकंडक्टर उपकरण में घटकों पर अधिक कठोर आवश्यकताएं होती हैं, और इसकी घनत्व, एकरूपता, संक्षारण प्रतिरोध आदि को अधिक होने की आवश्यकता होती है। हाल के वर्षों में, घरेलू और विदेशी विद्वानों ने एल्यूमिना सिरेमिक सामग्री की सिंटरिंग स्थितियों में सुधार करने के लिए विभिन्न प्रकार की नई प्रक्रियाएं विकसित की हैं, ताकि वे कम सिंटरिंग तापमान पर सामग्रियों के तेजी से घनत्व को प्राप्त कर सकें, जैसे कि उच्च-तापमान वाले सिंटरिंग, फ्लैश सिन्टरिंग, कोल्ड सिन्टरिंग, और प्रेशर सिन्टरिंग को ऑसिलेटिंग करना। उनमें से, कोल्ड सिन्टरिंग पाउडर में एक क्षणिक विलायक को जोड़ना है और कणों के बीच पुनर्व्यवस्था और प्रसार को बढ़ाने के लिए एक बड़ा दबाव (350 ~ 500mpa) लागू करना है, ताकि सिरेमिक पाउडर को कम तापमान (120 ~ 300 ℃) और एक छोटे समय पर घनीभूत किया जा सके।

वर्तमान में, वैश्विक एकीकृत सर्किट निर्माण प्रक्रिया 3-नैनोमीटर स्तर पर अधिक उन्नत प्रक्रिया के लिए विकसित हुई है। सेमीकंडक्टर उपकरण और अर्धचालक उपकरण सटीक घटकों को लगातार विकसित और उन्नत किया जाना चाहिए, और डाउनस्ट्रीम विनिर्माण आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए प्रक्रिया में सुधार किया जाना चाहिए। एक बार सेमीकंडक्टर उपकरण अपडेट होने के बाद, घटकों के लिए नए उपकरणों की विशिष्ट आवश्यकताएं समकालिक रूप से बदल जाएंगी। अर्धचालक प्रौद्योगिकी के विकास के साथ, एल्यूमिना सिरेमिक घटकों के लिए प्रदर्शन आवश्यकताएं उच्च और उच्चतर हो रही हैं, जिसमें उच्च पहनने के प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध और बेहतर विद्युत इन्सुलेशन शामिल हैं। उद्योग के रुझान उच्च शुद्धता, महीन संरचना एल्यूमिना पाउडर सामग्री विकसित करते हैं, और उन्नत तैयारी प्रौद्योगिकियों को अपनाते हैं।

एल्यूमिना सिरेमिकसेमीकंडक्टर क्षेत्र में उपयोग किए जाने पर बहुत अधिक शुद्धता आवश्यकताएं होती हैं, आमतौर पर 99.5%से अधिक। अर्धचालक क्षेत्र में, एल्यूमिना सिरेमिक भागों सेमीकंडक्टर उपकरण के प्रमुख भागों में से एक हैं। उनमें से अधिकांश का उपयोग वेफर के करीब कक्षों में किया जाता है। अर्धचालक उपकरणों में, उन्हें उपयोग द्वारा वर्गीकृत किया जाता है और मुख्य रूप से कुंडलाकार सिलेंडर, एयरफ्लो गाइड, लोड-असर फिक्स्ड, हैंड-ग्रिप्ड गैसकेट, मॉड्यूल आदि में विभाजित किया जाता है।

नक़्क़ाशी प्रक्रिया में, प्लाज्मा नक़्क़ाशी के दौरान वेफर के संदूषण को कम करने के लिए, उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना कोटिंग्स या एल्यूमिना सिरेमिक के साथ मजबूत संक्षारण प्रतिरोध के साथ नक़्क़ाशी चैम्बर और चैम्बर अस्तर के लिए सुरक्षात्मक सामग्री के रूप में चुना जाता है।

प्लाज्मा सफाई प्रक्रिया में, संक्षारक गैसों में अत्यधिक प्रतिक्रियाशील हैलोजेन तत्व जैसे फ्लोरीन और क्लोरीन का उपयोग किया जाता है। गैस नोजल आमतौर पर एल्यूमिना सिरेमिक से बना होता है, जो गैसों और उप-उत्पादों को संसाधित करने के लिए उच्च प्लाज्मा प्रतिरोध, ढांकता हुआ ताकत और मजबूत संक्षारण प्रतिरोध के लिए आवश्यक होता है। इसी समय, आंतरिक परिशुद्धता छेद संरचना का उपयोग गैस प्रवाह को सटीक रूप से नियंत्रित करने के लिए किया जाता है।

अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया में, वेफर उच्च तापमान उपचार से गुजर सकता है, जैसे कि नक़्क़ाशी, आयन आरोपण, आदि वेफर ट्रांसमिशन के लिए एक वाहक के रूप में, एल्यूमिना वेफर वाहक ट्रांसमिशन प्रक्रिया के दौरान वेफर की स्थिरता और सुरक्षा सुनिश्चित कर सकता है। एल्यूमिना वेफर वाहक में अच्छी तापीय चालकता है और वे वेफर द्वारा उत्पन्न गर्मी को प्रभावी ढंग से फैलाने और निर्यात कर सकती है, जिससे वेफर को थर्मल क्षति से बचाया जा सकता है।

वेफर्स की हैंडलिंग में, एल्यूमिना सिरेमिक से बना एक सिरेमिक रोबोटिक हाथ का उपयोग किया जाएगा। यह एक वेफर हैंडलिंग रोबोट पर स्थापित किया जाएगा, जो रोबोट के हाथ के बराबर है। यह वेफर को निर्दिष्ट स्थान पर ले जाने के लिए जिम्मेदार है, और इसकी सतह वेफर के सीधे संपर्क में है। क्योंकि वेफर्स अन्य कणों द्वारा संदूषण के लिए अतिसंवेदनशील होते हैं, वे आम तौर पर एक वैक्यूम वातावरण में किए जाते हैं। इस वातावरण में, अधिकांश सामग्रियों के रोबोटिक हथियारों को आम तौर पर काम पूरा करना मुश्किल लगता है। रोबोट हथियारों को बनाने के लिए उपयोग की जाने वाली सामग्री को उच्च तापमान, पहनने के प्रतिरोधी के लिए प्रतिरोधी होने की आवश्यकता होती है, और उच्च कठोरता होती है। काम करने की स्थिति की आवश्यकताओं के कारण, वे आम तौर पर अत्यधिक उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिना सिरेमिक सामग्री से बने होते हैं, और सिरेमिक भागों की सटीकता और सतह खुरदरापन की गारंटी देने की आवश्यकता होती है।

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